【講演概要】

二周波励起容量結合プラズマ (2f-CCP) 源は,高周波電極による高密度プラズマの生成・維持と低周波電極によるイオンエネルギーの独立した制御が可能である.本研究では,COMSOL Multiphysicsを用いて, 2f-CCPのモデリングを行った.2D軸対称シミュレーション結果、電子密度や電子温度の分布などを得て,2f-CCPの構造と特性を検討した.
 

【キーワード】

二周波励起容量結合プラズマ, 2D軸対称シミュレーション, COMSOL Multiphysics
 

【使用製品】

COMSOLMultiphysics, プラズマモジュール
 

【共同著作者】

ー
 

【English title】

Modeling of dual-frequency capacitively-coupled plasmas using COMSOL Multiphysics
 

【Abstract】

The dual-frequency capacitively coupled plasma (2f-CCP) source can generate and maintain high-density plasma with high RF electrode and independently control ion energy with low RF electrode. In this work, 2f-CCP was modeled using COMSOL Multiphysics. 2D axisymmetric simulation was performed and the distributions of electron density, electron temperature, etc. were obtained. The structure and characteristics of 2f-CCP were investigated.
 

【Keyword】

2f-CCP, 2D axisymmetric simulation, COMSOL Multiphysics

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【講師紹介】

計測エンジニアリングシステム株式会社 首席研究員 佟 立柱