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口述講演

極性反転積層圧電材料の非線形誘電率の深さプロファイル計測

小田川 裕之 先生
熊本高等専門学校

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【講演概要】

現在,圧電体の高性能化のために層状に分極反転させた構造の開発が進められている.走査型非線形誘電率顕微法(Scanning Nonlinear Dielectric Microscopy: SNDM)は試料の非線形誘電率を測定し圧電体や強誘電体の極性を判定することが可能である。本研究では,SNDMの測定深さを制御することで,積層構造の極性反転の深さプロファイルを,試料表面から非破壊で測定することを試みる。計測用の電極の位置を変えることで,試料の内の電界分布を連続的に変化させる手法を提案し,シミュレーションを行った結果について述べる.
 

【キーワード】 

圧電体, 走査型非線形誘電率顕微法, 分極反転,積層構造, 分極測定
 

【COMSOL使用モジュール】

COMSOL Multiphysics, AC/DCモジュール
 

【共同著作者】

熊本高等専門学校 井星 毅大 様
 

【English title】

Depth profile measurement of nonlinear dielectric properties in multilayer polarity inverted piezoelectric materials
 

【Abstract】

Currently, polarization-reversed layered structures are developed to improve the performance of piezoelectric devices. 
Scanning nonlinear dielectric microscopy (SNDM) can detect the polarization direction of piezoelectric and/or ferroelectric materials by measuring the nonlinear dielectric constant. 
The objective of this study is to obtain depth profile of polarity inversion in layered materials by controlling the distribution of the electric field in the sample nondestructively. 
In this report, we describe a method that the position of electrode is changed to control the electric field in the sample continuously, and the results of simulations.
 

【Keyword】 

Piezoelectric material, Scanning nonlinear dielectric microscopy, Polarity inversion, Multilayer structure, Polarization measurement

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【講師紹介】

熊本高等専門学校 情報通信エレクトロニクス工学科 教授 小田川 裕之 先生

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