【講演概要】

スペックル干渉法を用いて,微細構造物表面からの散乱光の空間的な位相分布を検出することで,回折限界を超えた微細構造を観察する新たな手法が実験結果に基づいて報告されている。本研究では,この技術の測定原理の検証をCOMSOL Multiphysics®を用いてコンピュータシミュレーションしている。はじめにCOMSOLを回折限界を超える演算に適用するにあたっての条件を検討し、光学系の二次元モデルをCOMSOLのプラットフォーム上に作製している。シミュレーションを通した理論解析においても新たな観測技術の正当性を実証している。

 

【キーワード】　

超解像、スペックル干渉計測、位相検出, シミュレーション
 

【COMSOL使用モジュール】

COMSOL Multiphysics,波動光学モジュール
 

【共同著作者】

関西大学 新井 泰彦 様
 

【English title】

Simulation-based approach to development of diffraction-limited shape measurement of micro-structures using speckle interferometry
 

【Abstract】

A new technique to observe microstructures beyond the diffraction limit by detecting the spatial phase 
distribution of scattered light from the surface of microstructures using speckle interferometry has been 
reported based on experimental results. 
In this study, the measurement principle of this technique is computer simulated using COMSOL Multiphysics. 
First, the conditions for applying COMSOL to calculations beyond the diffraction limit are verified, 
and a two-dimensional model of the optical system is constructed on the COMSOL platform. 
We also demonstrate the validity of the new observation technique in the theoretical analysis using simulations.
 

【Keyword】　

Super-resolution; Speckle interferometry; Detecting phase distribution; Simulation

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【講師紹介】

関西大学 機械工学科 学部4回生 宮原 理紗 様