【講演概要】
私たちは太陽フレア観測ロケット(FOXSI-4)に搭載されるウォルターミラーを開発している。このミラーは電鋳で作製される。X線を全反射させるには、nmオーダーの加工精度が要求される。本研究では、電極表面での膜厚分布を一様にすることで、電鋳の転写精度を向上させる。ミラー作製前に膜厚分布を正確に予測するため、めっき液内の二次電流分布を有限要素解析によって計算するシミュレーションモデルを構築した。本稿では、モデルの計算結果の妥当性を実測値と比較して評価する。【キーワード】
ウォルターミラー, 高精度電鋳, 膜厚均一化, 二次電流分布, 有限要素解析【使用製品】
COMSOL Multiphysics, 構造力学モジュール, CFDモジュール, 電気めっきモジュール, CADインポートモジュール【共同著作者】
東京大学工学系研究科 精密工学専攻 山口 豪太 様東京大学工学系研究科 精密工学専攻 三村 秀和 様
【English title】
Development of thickness distribution simulation for high precision electroforming process of Wolter mirrors for X-ray telescopes【Abstract】
We have been developing a Wolter mirror for the fourth Focusing Optics X-ray Solar Imager (FOXSI-4) sounding rocket experiment. This mirror is fabricated in a high-precision Ni electroforming, which requires figure accuracy in nanometer order to reflect X-ray effectively. In this study, we will improve the accuracy of electroforming by making film thickness distribution uniform on the electrode surface. The simulation model was developed to precisely predict film thickness distribution before fabrication, which calculates the secondary current distribution in the plating solution by finite element analysis. In this paper, the validity of the model is evaluated by comparing with measured values.【Keyword】
Wolter mirror, High-precision electroforming, Uniformization of film thickness, Secondary current distribution, Finite element analysis本サイトの便利な機能や豪華景品が当たるアンケート詳細についてはこちらから