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事例/資料
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最先端半導体産業の発展におけるCOMSOL Multiphysics®の重要な役割
※本動画の音声は英語となります（日本語資料、スクリプト有り）
概要
本動画では、半導体産業における高度な COMSOL Multiphysics® シミュレーションの応用について簡単に紹介します。はじめに、半導体デバイス製造システム、ヒートシンク、半導体ウェハー製造及びパッケージングとテストの4つの主なトピックにおけるシミュレーションの応用例を紹介します。各トピックでは、既存のさまざまな COMSOL シミュレーションモデルについて説明し、さらにいくつかのモデルについて詳しく取り上げます。最後に、半導体産業における COMSOL Multiphysics® シミュレーションの重要な役割についてまとめています。
■こんな方におすすめ：
半導体装置システム設計者、半導体産業に興味のある方
■キーワード
イオン注入、熱蒸着システム、フォトレジストスピンコーティング、プラズマ処理、化学エッチング、ヒートシンク、多孔質マイクロチャンネルヒートシンクの最適化、アクティブヒートシンクのパラメトリックおよびトポロジー最適化、ヒートシンク設計におけるマルチフィジックスシミュレーション、半導体ウェハー製造、CVD、MOCVD、半導体パッケージングおよびテスト
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