PRODUCT Pollen Metrology社 画像解析ソフトウェア
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ナノ〜サブミクロンの微細画像を高精度に解析し
マルチモーダルデータと統合する Pollen の協調型AIプラットフォーム
フランスを拠点とする Pollen Metrology 社は、SEM や TEM に代表される顕微鏡画像を核とした AI 画像計測・解析技術を強みに、先端材料および半導体製造プロセスの高度化を支援するディープテック企業です。独自の「Smart3」プラットフォームにより、顕微鏡画像、回折信号、プロセスパラメータ（温度・圧力など）といった多様なデータをマルチモーダルに統合し、研究開発から量産に至るまでのプロセス改善を現場主導で継続的に進めることを可能にします。Pollen のソフトウェアは高セキュリティな環境での運用に対応しており、オンプレミスでの構築も可能なため、機密性の高い製造データを外部に出すことなく活用できます。計測工学、物理学、コンピュータサイエンス、画像処理、ディープラーニング、データフュージョンなど多様な専門性を持つグローバルチームの知見を基盤に、材料開発の迅速化、量産立ち上げ時の歩留まり早期安定化、そして持続的な製造プロセスの高度化を実現します。
製品の特長
Pollenは、半導体製造、電子ディスプレイ、高機能材料、データストレージといった分野におけるプロセス制御と画像解析の課題を解決するAIソフトウェア企業です。10年以上にわたり、ディープラーニング技術を活用した画像解析・最適化ソフトウェアを提供し、R&Dから量産に至るまで多くの業界で導入されています。
Pollenの製品は主に2つの顧客層を対象としています。1つ目は、半導体材料やデバイスを製造する企業で、R&Dサイクルの短縮、製品品質の向上、歩留まり最適化を実現したいお客様です。2つ目は、装置メーカーで、SmartOEM3というモジュール型ソフトウェアプラットフォームをプロセス装置や計測装置に組み込み、自社装置にAI機能を統合したいお客様です。
SmartOEM3の導入により、リアルタイムでの欠陥検出、自動計測、工程最適化といった付加価値を装置に加えることが可能になり、業界の変化に柔軟に対応できる装置開発が加速します。
PollenのAI画像解析ソフトウェアは、走査電子顕微鏡（SEM）、透過型電子顕微鏡（TEM）、CD-SEM、光学顕微鏡、STEM、音響顕微鏡などから取得されるナノスケール画像をもとに、高精度なセグメンテーション、サイズ・形状測定、欠陥検出、分類、ナンバリングを自動で行います。
教師あり・教師なし学習の両手法に対応しており、歩留まり向上を目的としたプロセスパラメータのディープラーニングモデリングと最適化にも対応しています。
また、既存の社内システムや独自ツールとの連携を重視しており、SDKを用いてPythonやC++による社内開発との統合も容易です。これにより、ユーザーは自社製のデータ解析ライブラリや検証ツールをSmart3プラットフォーム上に自由に組み込むことができます。
さらに、製造現場や研究機関で扱う機密性の高い画像・測定データを保護するため、データマスキングやオンプレミス環境での導入にも対応しています。高いセキュリティ要件を満たしながら、歩留まり最適化や欠陥要因の特定、リアルタイムプロセス制御を実現します。
これまでに、半導体メーカー、電子ディスプレイメーカー、化学・医療・電池・自動車業界など、幅広い分野での導入実績があり、ナノレベルの高度な画像処理を通じて、お客様の生産性と品質管理の革新に貢献しています。
自社装置の画像性能と計測価値を最大限に引き出す AI 画像解析・計測機能を、SmartOEM3 により装置内部へ柔軟に組み込み可能
SEM・TEM などの顕微鏡画像とプロセスデータを統合し、研究開発から量産までを通じて歩留まりの早期安定化と継続的なプロセス改善を実現
プロセス条件と計測・検査データを結び付けた AI モデルを装置レベルで活用し、レシピ最適化や差別化されたプロセスインテリジェンスを提供可能
微細な画像解析に特化したSMART3ソフトウェア・スイート
プロセス制御能力を加速させるための独自の機能横断型Smart3 AI/
ディープラーニングソフトウェアプラットフォーム：
Smart3 は、プロセス制御能力を加速させるために設計された、機能横断型の AI／ディープラーニングソフトウェアプラットフォームです。
複雑な Raw データを一元的に管理し、計測・検査・歩留まり評価を横断した解析を通じて、装置メーカーおよび半導体デバイスメーカー双方のプロセス理解とコラボレーションを支援します。
Smart3 SDK を利用することで、装置メーカーは自社装置に最適化した AI 解析やワークフローを組み込み、デバイスメーカー（ファブ）は社内で開発したアルゴリズムや解析ロジックを Smart3 上で活用できます。
これにより、両者は自社の IP を保持したまま、検証から運用までを一貫して行える柔軟なプロセス制御ソフトウェアを構築できます。
SmartMET 3
自動画像処理計測分析用
SmartMET3は、製造された材料のすべての重要な寸法を抽出するために、AIによる画像処理計測モデルを数クリックで作成することができるソフトウェアです。手動測定（ライン、角度、パス、ポリゴンなど）から、半自動的なセグメンテーションツール、さらに機械学習によるVSA（変動要因分析）まで、精度と自動化レベルの異なる複数の計測ツールを用途に応じて使い分けることができます。SmartMET3ソフトウェアプラットフォームは、SEM、TEM、STEM、光学、音響顕微鏡など様々な顕微鏡からの画像に対応しています。SmartMET3はGUIだけでなくAPIとしても提供され、ワークフローの自動化により生産サイクルへの実装や、以前に作成された計測モデルの完全自動運用を可能にします。
SmartDEF 3
自動画像処理欠陥分析用
SmartDEF3は、数クリックで教師ありまたは教師なしの人工知能モデルを作成し、製造材料の欠陥を検出、分類、測定することができるソフトウェアです。良品画像のみを用いた教師なしの異常検知やディープクラスタリングによる教師なし分類に加え、多クラスの欠陥種を判別する教師ありのインスタンス分割・物体検出にも対応しており、目的や利用可能なデータ量に応じてモデルの学習方法を選択できます。SmartDEF3ソフトウェア・プラットフォームは、SEM、TEM、STEM、光学、音響などの様々な顕微鏡からの画像に対応しており、解析はパターンレベルまたはウェハレベルで行うことができます。SmartDEF3は、GUIだけでなくAPIと共に提供され、少数の画像からでも高精度なモデルを構築し、生産ラインへの組み込みや自動運用が可能です。
SmartYIELD 3
プロセスパラメータのモデリングによる予測・歩留まり最適化・欠陥原因分析
SmartYIELD3は、プロセスパラメータ（温度・圧力・時間など）と計測・検査結果（寸法、欠陥、歩留まりなど）の関係を学習し、予測モデル（サロゲートモデル）を構築するソフトウェアです。データクリーニング、モデリング、最適化、予測という一連のパイプラインを備えており、目標とする性能指標を満たす最適なプロセス条件を導き出すとともに、未実施の条件についても数秒で仮想的に評価することができます。これにより、量産立ち上げ時の歩留まり改善や、不良の根本原因分析（Root Cause Analysis）を迅速に進めることが可能です。SmartYIELD3は、GUIだけでなくAPIとしても提供され、既存の生産システムへの組み込みや自動化にも対応しています。
ビデオで見るSmart3テクノロジー
Pollen Metrology社について
Pollenは、半導体および先端材料分野向けに、AIを活用した産業プロセス制御ソフトウェアを提供する革新的な企業です。 創業のはじまり 2014年、フランス原子力・代替エネルギー庁（CEA）の研究者であったヨハン・フーシェ（Johann Foucher）によって設立されたPollenは、半導体業界における材料制御の課題に取り組むことを目的に誕生しました。創業当初のミッションは、計測精度の向上と歩留まりの最適化でした。 技術革新へのこだわり 創業以来、PollenはR&Dに注力し、AI、ディープラーニング、高度なデータ処理技術をソフトウェアに統合してきました。モジュール型のソフトウェアは、製造現場のデータをリアルタイムで解析し、不良品の削減や製品品質の向上を実現しています。 国際展開と評価 Pollenの高性能かつ柔軟性に優れたソリューションは、マイクロエレクトロニクスやナノテクノロジー分野のリーディングカンパニーとの協業を通じて、グローバルに展開されています。その革新的な取り組みは複数の賞を受賞し、戦略的パートナーシップの構築にもつながっています。 未来へのビジョン 現在、Pollenはお客様自身が内部ソリューションを迅速に開発できるローコード型ソフトウェアプラットフォームの開発を進めており、インダストリー4.0時代における産業プロセス制御のリファレンス企業となることを目指しています。 革新と卓越性への強いコミットメントのもと、Pollenはスマートマニュファクチャリングと先端材料制御の未来を担うキープレイヤーとして歩み続けています。