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ガラスの微細加工のCOMSOLベンチマークモデル

Fine processing of glass

目的

ガラスの微細加工の平面ひずみ解析
 1)平面ひずみの弾性解析
 2)既往の結果との比較

解析概要

手段

日本航空宇宙学会誌、第53巻、第623号、p.360-361(2005年12月)との比較

利用ソフトウェア

COMSOL Ver.5.6 基本モジュール

方法

空間2次元、固体力学、定常解析
平面ひずみ解析
ヤング率 80GPa、ポアソン比 0.22
メッシュ 四辺形メッシュ+境界層メッシュ


COMSOL数値解

solid.sxyの分布(最大: 5.52GPa,最小:-3.83GPa)と応力分布は参考文献と定性的に一致。重要な応力の影響深さも1um以下であり、一致。COMSOLでは三次元表示によって分布の直感的把握が容易である。
計算時間 3秒

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