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COMSOL Multiphysicsによる理論物理モデルをベースとしたナノファイバーの光計測 【Conference2022発表資料】
こちらの資料は、Multiphysics Conference 2022（2022年12月開催）の発表資料をアーカイブ化したものです。
これまでサブマイクロ/ナノファイバーを評価するには電子顕微鏡しかなかった。そこで、光を用いた手法が提案されているが、直径1 µm程度が本質的に限界であった。本手法では、その限界を突破し、500 nmのファイバーの測定を実現した（原理的には200 nm程度も可能）ので、これについて報告する。
発表者
道畑 正岐 先生
東京大学 工学系研究科 精密工学専攻 准教授
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