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化学気相蒸着反応器内の粒子の熱泳動
公開日：2022年11月29日
概要
この例では、COMSOL Multiphysics®の伝熱モジュール、粒子追跡モジュール、CFDモジュール、マイクロフルイディクスモジュール、もしくはプラズマモジュールを使用して、水平化学気相成長反応器内の粒子の熱泳動輸送を調べます。無粒子領域は、粒子に作用する熱泳動力によりサセプタの上に発生する傾向があります。無粒子ゾーンのサイズはサセプタにかかる温度によって異なります。
＊本解説は、COMSOL社のサイトから提供されているアプリケーションギャラリの例題モデルをポイント解説したものです。実際のモデルファイルやモデルの説明書はCOMSOL社のサイトからダウンロードしてください。
関連モデルファイル：https://www.comsol.jp/model/thermophoresis-12617
関連ワード
熱泳動力、抗力、粒子追跡
