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大変位・小型・高速圧電MEMSアクチュエータ技術の開発【口述講演/Conference2025発表資料】
こちらの資料は、COMSOL Conference 2025（2025年12月開催）の発表資料をアーカイブ化したものです。
概要
AV/VRやLiDARなどレーザー掃引技術は広く利用されている。特に、AR/VR用途ではレーザー掃引システムは従来以上の小型化が求められており、MEMSミラー、特に圧電薄膜アクチュエータを利用した圧電MEMSミラーは超小型レーザー掃引システムを実現できる手法としてさらに注目を浴びている。従来の小型MEMSミラーにおいても高速化・高角度化は研究されているが、利用可能面積を効率よくアクチュエータに使うことができず、小型化による性能劣化を起こしていた。本発表では、圧電アクチュエータとミラーの連成振動に着目し、大変位・小型・高速動作が可能となったMEMSミラーについて述べる。
発表者
岡本 有貴
産業技術総合研究所 ハイブリッド機能集積研究部門 主任研究員
キーワード
MEMS、圧電薄膜アクチュエータ、PZT、連成振動
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