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COMSOL Multiphysics®上に創成したDSMCを用いた希薄流のマルチフィジックスシミュレーション【ポスター/Conference2024発表資料】
こちらの資料は、COMSOL Conference 2024（2024年12月開催）の発表資料をアーカイブ化したものです。
概要
2018年のカンファレンスでは、新分子間衝突法である「疑似南部法」を導入し、COMSOL Multiphysics®上に初となるDSMCモデルの構築を報告。その後、疑似南部法を二原子分子や混合ガスに拡張した。本カンファレンスでは、半導体製造装置内の希薄流に対し、そのDSMCモデルを応用したマルチフィジックスシミュレーションの事例をポスターにて紹介する。
発表者
伝宝 一樹 様
東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ株式会社 シミュレーション技術開発部 Principal Scientist
キーワード
希薄流、マルチフィジックスシミュレーション、DSMC、疑似南部法
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