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大面積電子線描画のためのVSB/CP法を用いたシリコンレーストラック光共振器テスト構造の作製【Conference2021発表資料】
こちらの資料は、COMSOL Simulations WEEK（2021年12月開催）の発表資料をアーカイブ化したものです。
概要
アドバンテスト社製電子線描画装置F7000S-VD02を用いて可変成形ビーム(VSB)/キャラクタープロジェクション(CP)法を組み合わせた電子線描画手法を用いて、従来のVSB法で問題になった斜辺や婉曲導波路の側壁粗さをCP法による低減する手法を提案する。テスト構造としてレーストラック型光共振器を用いて伝搬ロスを評価した。その結果、本提案のVSB/CP法を用いることで伝搬ロスを下げながら高速描画する可能性を見出した。
講師
肥後 昭男 先生
東京大学 大学院工学系研究科附属システムデザイン研究センター基盤設計研究部門 特任講師
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