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Ｘ線望遠鏡用ウォルターミラーの高精度化に向けた膜厚分布シミュレーションの開発【Conference2021発表資料】
こちらの資料は、COMSOL Simulations WEEK（2021年12月開催）の発表資料をアーカイブ化したものです。
概要
私たちは太陽フレア観測ロケット(FOXSI-4)に搭載されるウォルターミラーを開発している。このミラーは電鋳で作製される。X線を全反射させるには、nmオーダーの加工精度が要求される。本研究では、電極表面での膜厚分布を一様にすることで、電鋳の転写精度を向上させる。ミラー作製前に膜厚分布を正確に予測するため、めっき液内の二次電流分布を有限要素解析によって計算するシミュレーションモデルを構築した。本稿では、モデルの計算結果の妥当性を実測値と比較して評価する。
発表者
伊藤 旺成 様
東京大学 大学院工学系研究科 精密工学専攻
共同著作者
東京大学工学系研究科 精密工学専攻 山口 豪太 様
東京大学工学系研究科 精密工学専攻 三村 秀和 様
キーワード
ウォルターミラー、高精度電鋳、膜厚均一化、二次電流分布、有限要素解析
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