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経験に基づく直観的MEMS設計から、解析に基づく合理的MEMS設計へ【基調講演/Conference2025発表資料】
こちらの資料は、COMSOL Conference 2025（2025年12月開催）の発表資料をアーカイブ化したものです。
概要
MEMS（Microelectromechanical Systems）は力学、電気工学、材料力学、半導体プロセス等に関わる複合技術であるがゆえに、そのデバイス設計には各分野に及ぶ総合的な知見が必要である。「総合的」とは言うものの実際には勘と経験に基づくひらめきが先行し、悪く言えば試行錯誤によるまぐれ当たりに依るところが大きい。そこで本講演では、根拠のある設計指針を得るためにシミュレーションを活用したＭＥＭＳ研究開発例を紹介する。
発表者
年吉 洋
東京大学 生産技術研究所 教授
キーワード
MEMS、Microelectromechanical Systems、波長可変光源
資料公開
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