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MEMSデバイス設計のためのマルチフィジックスシミュレーション【セミナーアーカイブ】

公開日:2026年2月10日
最終更新日:2026年2月10日

こちらの資料は、「MEMS SENSING & NETWORK SYSTEM2026」(2026年1月開催)出展企業セミナーの講演資料をアーカイブ化したものです。

講演概要:

マイクロ電気機械システム(MEMS)デバイスは、電磁場、圧電効果、熱構造などのマルチフィジックス的な相互作用を利用しています。COMSOL Multiphysics®は、複数の物理現象の連成解析と単一物理解析の両方に対応するシミュレーションプラットフォームであり、MEMSデバイスの研究・開発および設計に最適です。本講演では、COMSOL Multiphysics® で利用可能な、さまざまな MEMS デバイス設計のためのマルチフィジックスシミュレーションをご紹介するとともに、MEMS デバイスにおいて重要となるマイクロスケールデバイスにおける音響効果について解説します。

講演のおすすめポイント:

COMSOL Multiphysics®
MEMSデバイス
マルチフィジックス的な相互作用
マイクロスケールデバイスにおける音響効果

講師:

伊佐 エスマトラ(計測エンジニアリングシステム株式会社 技術部)

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