CASES AND MATERIALS
事例/資料
MEMSセンシング&ネットワークシステム展2024 出展企業講演
講師：東京大学 杉浦広峻先生
講演概要：水晶振動子を用いた力センサは，その高い応力計測感度，剛性，ダイナミックレンジによって，既存の力センサではなし得ない様々な応用が開拓可能である．我々の研究グループでは，水晶振動子のセンサ素子加工技術，計測技術を確立し，また医療機器，診断，理化学計測などの応用を進めてきた．また近年，極限性能を引き出すためのセンサ加工技術やシステム化技術の確立を進めたほか，ロボット化，オートメーションの需要に対応するためのリアルタイムかつ高速な計測技術，拡張力感覚性能の付与など，新たな技術を確立してきた．さらに，これらの要素技術を実用化した，実験ロボットによる手技の自動化などの応用に取り組んでいる．本発表では，水晶振動子を基軸としたこれらの力センサ技術について，我々の近年の取り組みを紹介する．