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COMSOL Multiphysics®による二周波励起容量結合プラズマ(CCP)のモデリング【Conference2021発表資料】
こちらの資料は、COMSOL Simulations WEEK（2021年12月開催）の発表資料をアーカイブ化したものです。
概要
二周波励起容量結合プラズマ (2f-CCP) 源は、高周波電極による高密度プラズマの生成・維持と低周波電極によるイオンエネルギーの独立した制御が可能である。本研究では、COMSOL Multiphysics®を用いて、2f-CCPのモデリングを行った。2D軸対称シミュレーション結果、電子密度や電子温度の分布などを得て、2f-CCPの構造と特性を検討した。
発表者
佟 立柱
計測エンジニアリングシステム株式会社 首席研究員
キーワード
二周波励起容量結合プラズマ、2D軸対称シミュレーション、COMSOL Multiphysics®
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