CASES AND MATERIALS 事例/資料
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COMSOL解析事例
ICPプラズマ解析用のサロゲートモデル
プラズマを用いた薄膜作成・ドライエッチング技術は、減圧下で薄膜を作成・加工するために必要不可欠な技術として幅広く利用されている。基板の大型化と加工寸法の微細化に伴い、装置開発に伴う開発コスト及び開発期間の増大は非常に大き […]
低電力DCアークジェットの解析
低電力DCアークジェット推進機の開発は近年、アメリカ、ドイツ、国内などで活発に行われ、アメリカではすでに実用化されている(1)。このような応用にDCアークジェットを適用する場合、耐久性が重要な問題となる。DCアークジェッ […]
Ar・CH4混合ガスを用いたICPプラズマの3Dモデル
半導体製造プロセスにおけるエッチング装置の多くは容量性結合型プラズマ (Capacitively Coupled Plasma; CCP) と誘導性結合型プラズマ (Inductivity Coupled Plasma […]
パターンめっきの解析
〜上村⼯業株式会社 (C. Uyemura & Co., Ltd.) ⽣本雷平様ご提供〜 半導体の微細化技術の進展によって、チップの高集積化、高速化、低消費電力化が年々進んでおり、電子機器の小型化・高機能化や高性 […]
量子コンピュータ開発におけるCOMSOLの利用と低消費電力化【セミナーアーカイブ】
こちらの資料は、「量子コンピュータ開発におけるCOMSOLの利用と低消費電力化」（2024年5月開催）の講演・資料をアーカイブ化したものです。※弊社技術部の資料のみ公開となります。 セミナー概要 1. 東京大学 野口 篤 […]
予測解析と不確かさの定量化ツールSmartUQと連携したマイクロスケールの多孔質リアクタシミュレーション 【Conference2021発表資料】
こちらの資料は、COMSOL Simulations WEEK（2021年12月開催）の発表資料をアーカイブ化したものです。 概要 本発表では、マイクロスケールの多孔質リアクタのCOMSOL®シミュレーションを用いて、予 […]
配管系におけるCOMSOL Multiphysics®による熱応力シミュレーションの有用性の検討【Conference2021発表資料】
こちらの資料は、COMSOL Simulations WEEK（2021年12月開催）の発表資料をアーカイブ化したものです。 概要 流体と伝熱の影響を受ける配管に生じる熱応力シミュレーションを行うことで、実際の挙動により […]
COMSOL Multiphysics®による電磁系モーター解析のポイント 【Conference2021発表資料】
こちらの資料は、COMSOL Simulations WEEK（2021年12月開催）の発表資料をアーカイブ化したものです。 概要 電磁系モーターの解析は、モーターの設計と製造において重要な役割を果たしている。シミュレー […]
マイクロマグネティクスの多重物理解析【Conference2021発表資料】
こちらの資料は、COMSOL Simulations WEEK（2021年12月開催）の発表資料をアーカイブ化したものです。 概要 マグノニクスは、スピン波を制御する分野であり、スピン波は磁気構造と相互作用することから、 […]
流体中の物体の電気力による運動制御 【Conference2021発表資料】
こちらの資料は、COMSOL Simulations WEEK（2021年12月開催）の発表資料をアーカイブ化したものです。 概要 物体の電気力による制御は幅広く利用されている。このような現象をモデリングするには複数の物 […]