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電磁気学
ICPプラズマ解析用のサロゲートモデル
プラズマを用いた薄膜作成・ドライエッチング技術は、減圧下で薄膜を作成・加工するために必要不可欠な技術として幅広く利用されている。基板の大型化と加工寸法の微細化に伴い、装置開発に伴う開発コスト及び開発期間の増大は非常に大き […]
低電力DCアークジェットの解析
低電力DCアークジェット推進機の開発は近年、アメリカ、ドイツ、国内などで活発に行われ、アメリカではすでに実用化されている(1)。このような応用にDCアークジェットを適用する場合、耐久性が重要な問題となる。DCアークジェッ […]
Ar・CH4混合ガスを用いたICPプラズマの3Dモデル
半導体製造プロセスにおけるエッチング装置の多くは容量性結合型プラズマ (Capacitively Coupled Plasma; CCP) と誘導性結合型プラズマ (Inductivity Coupled Plasma […]
量子コンピュータ開発におけるCOMSOLの利用と低消費電力化【セミナーアーカイブ】
こちらの資料は、「量子コンピュータ開発におけるCOMSOLの利用と低消費電力化」（2024年5月開催）の講演・資料をアーカイブ化したものです。※弊社技術部の資料のみ公開となります。 セミナー概要 1. 東京大学 野口 篤 […]
COMSOL Multiphysics®による電磁系モーター解析のポイント 【Conference2021発表資料】
こちらの資料は、COMSOL Simulations WEEK（2021年12月開催）の発表資料をアーカイブ化したものです。 概要 電磁系モーターの解析は、モーターの設計と製造において重要な役割を果たしている。シミュレー […]
マイクロマグネティクスの多重物理解析【Conference2021発表資料】
こちらの資料は、COMSOL Simulations WEEK（2021年12月開催）の発表資料をアーカイブ化したものです。 概要 マグノニクスは、スピン波を制御する分野であり、スピン波は磁気構造と相互作用することから、 […]
COMSOL Multiphysics®による二周波励起容量結合プラズマ(CCP)のモデリング【Conference2021発表資料】
こちらの資料は、COMSOL Simulations WEEK（2021年12月開催）の発表資料をアーカイブ化したものです。 概要 二周波励起容量結合プラズマ (2f-CCP) 源は、高周波電極による高密度プラズマの生成 […]
交流一様磁界中における金属磁性体球の磁界応答の周波数依存性【Conference2021発表資料】
こちらの資料は、COMSOL Simulations WEEK（2021年12月開催）の発表資料をアーカイブ化したものです。 概要 金属磁性体球を交流磁化すると磁化のみならず渦電流も誘起する。この2つが外部に作る磁界の向 […]
電磁気学基礎教育におけるCOMSOL Multiphysics® Application Builderの活用事例【Conference2021発表資料】
こちらの資料は、COMSOL Simulations WEEK（2021年12月開催）の発表資料をアーカイブ化したものです。 概要 大学教育において、初年度の早い段階から専門科目を入れる楔形教育が導入されている。早い段階 […]
カーボンニュートラル政策に対応するマイクロ波化学プロセスー電磁場解析と熱流束解析に支えられて【Conference2021発表資料】
こちらの資料は、COMSOL Simulations WEEK（2021年12月開催）の発表資料をアーカイブ化したものです。 概要 化学工業は、CO2無排出あるいは削減を基本とするカーボンニュートラル政策に照準を合わせて […]