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電磁気学
一般
DCパルス放電プラズマシミュレーション
プラズマ窒化は古くから鉄鋼材料の表面改質用プロセスとして研究されてきた。パルスプラズマは、エッチング速度と堆積速度の向上、ダスト粒子の形成の減少、および堆積の均一性の特徴を示す。パルス放電窒化技術は、脆弱化合物層（窒化鉄 […]
公開日：2021年12月16日
一般
二周波励起容量結合プラズマシミュレーション
プラズマ(plas)インターフェースに基づくCCPシミュレーション 二周波励起容量結合プラズマ (CCP:Capacitively Coupled Plasma) 源は、高周波電極による高密度プラズマの生成・維持と低周波 […]
公開日：2021年12月10日