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- COMSOLを使ったシリコンフォトニック導波路デバイスの設計
概要
近年、シリコンフォトニクス集積回路が注目を集めており、光インターコネクション、量子コンピュータ、AI等への展開が期待されている。本研究ではCOMSOLを用いて光導波路設計をおこない、実際に電子線描画装置を用いて作製した光導波路デバイスについて報告をする。
発表者
肥後 昭男
東京大学 大学院工学系研究科附属 システムデザイン研究センター 基盤設計研究部門 特任講師
キーワード
シリコンフォトニクス、COMSOL Multiphysics、電子線描画
資料公開
可(郵送)
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