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- マイクロ波磁場による窒化ガリウム基板の急速アニーリング技術の開発と基板の特性評価
概要
マイクロ波磁場を利用して、窒化ガリウム基板を20秒以内に1400℃に急速加熱する技術開発を行った。COMSOLの利用は、マイクロ波磁場を発生させる為のマイクロ波共振器を設計するために利用し、電磁界分布及びマイクロ波入力箇所等に関する条件探索の為に活用した。
発表者
中村 孝志
産業技術総合研究所 化学プロセス研究部門 主任研究員
共同著者
鄭 恵貞 様 （国立大学法人東海国立大学機構 大学院 工学研究科）
田中 敦之 様 （国立大学法人東海国立大学機構 大学未来材料・システム研究所（IMaSS））
天野 浩 様 （国立大学法人東海国立大学機構 大学未来材料・システム研究所（IMaSS））
キーワード
マイクロ波、磁場、半導体、窒化ガリウム、アニール、イオン注入、pn接合、電磁界
資料公開
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