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- COMSOL Multiphysics®を用いた多軸水晶振動子力センサの設計
概要
水晶振動子を用いた力センサは、感度、剛性、ダイナミックレンジに優れ、これまでの力センサでは実現できない新たなフロンティアを開拓できる。一方で、結晶材料固有のひずみの非対称性に伴う解析の難しさから、多軸力センサを設計する場合、特に軸間干渉に注意する必要がある。本発表では、COMSOL Multiphysics®を用いて、多軸力センサの軸間干渉の影響を評価し、理論的な性能限界を引き出すようなセンサ設計技術について報告する。
発表者
石田 滉翔
東京大学 機械工学専攻 学生
共同著者
杉浦 広峻（東京大学 大学院工学系研究科 機械工学専攻 助教）
キーワード
MEMS, Quartz Crystal, Resonant Sensor, 力センサ
資料公開
可