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- COMSOL Multiphysics®を活用した高速原子ビーム源の開発
概要
表面活性化接合と呼ばれるウエハ接合技術が注目されている。従来手法と比較して、常温かつ直接接合が可能なため、機能性複合ウエハやMEMS封止など、異種材料の接合に適用できる。この接合では、高速原子ビーム源を用いてウエハの表面活性化を行うが、従来は照射性能の不足が課題であった。本研究では、磁場印加によりプラズマを効率よく生成し、ビーム照射性能を向上させた高速原子ビーム源を開発し性能評価を行った。
発表者
加藤 泰成
名古屋大学 工学研究科マイクロ・ナノ機械理工学専攻 修士課程学生
共同著者
大島 京祐（名古屋大学 工学研究科 学生）
岡 智絵美（名古屋大学 工学研究科 助教）
櫻井 淳平 （名古屋大学 工学研究科 准教授）
秦 誠一 （名古屋大学 工学研究科 教授）
キーワード
表面活性化接合、高速原子ビーム源、磁場印加
資料公開
可