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高信頼SiCパワーデバイス実現に向けた銀焼結Cuクリップ構造の熱応力解析

概要

SiCパワーデバイスの高信頼化に向け、銀焼結接合とCuクリップ実装構造の熱応力解析を行った。COMSOLによるシミュレーションにより、クリップ厚が応力分布に及ぼす影響と、銀焼結層端部での引張応力発生を明らかにした。

発表者

中野 誠彦
慶應義塾大学 理工学部 電気情報工学科 教授

共同著者

青木正明、村上大斗、松野琳太郎(慶應義塾大学)

キーワード

SiCパワーデバイス、銀焼結接合、熱応力解析

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