MEMS SENSING & NETWORK SYSTEM2025

開催日時：2025年1月29日（水）～1月31日（金）10:00～17:00
会場：東京ビッグサイト東5ホール
オンライン開催：2024年12月2日（月）～2025年2月28日（金）
ブース位置：5B-12
参加費：無料（事前来場登録制）
公式サイト：https://www.optojapan.jp/mems/ja/

展示内容

・COMSOL Multiphysics^®（全般、半導体、半導体材料、センサー、マイクロ流路、マイクロロボット、微小デバイス）
MEMS分野において半導体とセンシングをメインテーマとして出展

【ポスター7種】
01：Lider解析　
02：Lab-on a chip・化学反工学解析　
03：マイクロ流路の音響効果　
04：センシングデバイス
05：微小設計　
06：半導体製造プロセス・デバイス設計
07：プラズモンデバイスの設計

出展社セミナー

講　師：肥後 昭男 先生（東京大学 大学院工学系研究科　特任講師）
日　時：2025年1月29日（Day1）15:30～16:15

講演タイトル：

大面積メタサーフェスにむけた電子線リソグラフィのVSB/CP法によるNanogapの作製

講演概要：

近年、ナノ構造を用いた光デバイス、ぷらずモニックデバイスの研究が盛んにおこなわれています。ナノ構造デバイスの作製には電子線描画装置が利用されますが、ポイントビーム法では大面積描画には向きません。本講演では、電子線描画装置の中でLSIのガラスマスクを作製する際に使われる可変成形ビーム法と特定の構造に特化したキャラクタープロジェクション法を用いた超高速高精細描画による金ナノギャップの作製方法およびCOMSOLを用いたプラズモンデバイスの設計について発表いたします。

■こんな方におすすめ：
大面積・超高精細電子線描画、ナノ構造、光デバイス、プラズモニックデバイス、光学シミュレーション

■ご経歴：
2007年東京大学大学院工学系研究科電気工学専攻　博士課程修了、博士（工学）取得。マイクロナノマシンとシリコン細線光導波路を融合したデバイスに関する研究。東京大学先端科学技術研究センターにて化合物半導体とシリコンプラットフォームを用いたレーザの研究に従事。その後、東北大学原子分子材料高等研究機構にて超微細化のための化合物の低損傷エッチングおよびLEDの研究に従事。2017年、東京大学大規模集積システム設計教育センター特任講師、2019年より東京大学大学院工学系研究科附属システムデザイン研究センター特任講師、現在に至る。主に電子線描画装置を用いた微細構造デバイスの光応用およびシリコンフォトニクスへの展開。

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