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COMSOL Simulations WEEKライブ講演:COMSOL Multiphysicsによる二周波励起容量結合プラズマ(CCP)のモデリングについてのポイント解説【開催予定】

2021.12.08 カンファレンスライブ ライブ配信

ライブセミナーについて

ライブセミナーは、COMSOL Simulations WEEK 2021の会期中に開催される、ライブ(生中継)配信型のWebinarです。様々な分野に精通した講師から、最新の技術情報を得られる機会ですので、皆様奮ってご参加ください。

COMSOL Simulations WEEK 2021のご案内は【ここをクリック】

【Information】

 

演題 COMSOL Multiphysicsによる二周波励起容量結合プラズマ(CCP)のモデリングについてのポイント解説
講演概要 二周波励起容量結合プラズマ (2f-CCP) 源は,高周波電極による高密度プラズマの生成・維持と低周波電極によるイオンエネルギーの独立した制御が可能である.本研究では,COMSOL Multiphysicsを用いて, 2f-CCPのモデリングを行った.2D軸対称シミュレーション結果、電子密度や電子温度の分布などを得て,2f-CCPの構造と特性を検討した.口述講演の内容のポイント解説を行う.
講師
佟立柱 (計測エンジニアリングシステム株式会社 主席研究員)
開催日時 2021年12月8日(水)10:00-11:00 (所要60分)
開催方式 オンラインWebinar
受講環境 Microsoft Teams
定員 100名
申込期限 2021年12月2日(木)17:00 まで
参加費用 無料
備考

当日の聴講用のURLは、お申し込みを完了されたら、すぐにご登録いただいたEメールアドレス宛てにお送りしますので、着信したことをご確認ください。
当日はお時間になりましたらお送りしたURLから会場にログインしてください。

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開催時間 10:00
開催場所 ライブ配信

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