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COMSOL Simulations WEEKライブ講演：COMSOL Multiphysicsによる二周波励起容量結合プラズマ(CCP)のモデリングについてのポイント解説【開催済み】
2021.12.08 カンファレンスライブ ライブ配信
ライブセミナーについて
ライブセミナーは、COMSOL Simulations WEEK 2021の会期中に開催される、ライブ(生中継)配信型のWebinarです。様々な分野に精通した講師から、最新の技術情報を得られる機会ですので、皆様奮ってご参加ください。
COMSOL Simulations WEEK 2021のご案内は【ここをクリック】
【Information】
| 演題 | COMSOL Multiphysicsによる二周波励起容量結合プラズマ(CCP)のモデリングについてのポイント解説 |
|---|---|
| 講演概要 | 二周波励起容量結合プラズマ (2f-CCP) 源は，高周波電極による高密度プラズマの生成・維持と低周波電極によるイオンエネルギーの独立した制御が可能である．本研究では，COMSOL Multiphysicsを用いて， 2f-CCPのモデリングを行った．2D軸対称シミュレーション結果、電子密度や電子温度の分布などを得て，2f-CCPの構造と特性を検討した．口述講演の内容のポイント解説を行う． |
| 講師 |  佟立柱 (計測エンジニアリングシステム株式会社 主席研究員) |
| 開催日時 | 2021年12月8日(水)10:00-11:00 (所要60分) |
| 開催方式 | オンラインWebinar |
| 受講環境 | Microsoft Teams |
| 定員 | 100名 |
| 申込期限 | 2021年12月2日(木)17:00 まで |
| 参加費用 | 無料 |
| 備考 |
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