【タイムテーブルと講演概要】

 13:05～14:05：東京工業大学 竹内先生ご講演 

■タイトル：
プラズマ工学に関連する種々のシミュレーション
気液界面プラズマを用いた水処理や，コロナ放電によるイオン風の発生など，これまでに取り組んできたプラズマ工学に関連する種々のシミュレーションの概略を紹介します。聴講者がシミュレーションを行う際の考え方のヒントとなるよう，計算に必要なコスト（メモリ・時間）を低減するための仮定やモデルの簡略化手法についてお話いただきます。

14:05～14:20 : 質疑応答 

14:20～15:20：東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ株式会社　池田様ご講演　

■タイトル：
プラズマプロセス量産装置のつくり方および最先端プラズマ照射ダメージの紹介　
IoT, AIを活用した「第四次産業革命」への突入に伴い, 半導体市場は急速な成長を迎えております。半導体の集積構造は,  この急速な成長の中で, 「2次元」から「3次元」へ更なる進化をしています。このような最先端の半導体デバイス素子を高集積化するには, ウェーハ上により高度な3次元形状をつくる必要があり, 「成膜」「リソグラフィ」「エッチング」「洗浄」が何度も繰り返し行われます。この3次元形状を高集積化していく技術として欠かせないのが,  プラズマプロセス技術およびプラズマプロセス装置技術であります。
講演は3部構成で行います。まず第1部で世界有数の半導体製造装置会社である東京エレクトロンおよび東京エレクトロングループで半導体製造装置の主に成膜部門を担当している東京エレクトロン テクノロジーソリューションズの紹介をさせていただきます。次に第2部では, プラズマプロセス装置のつくり方について実施例をもとに説明いたします。最後に第３部では,  最先端のプラズマ照射ダメージ機構の研究について説明いたします。
半導体生産現場で使用されるプラズマ装置は,  研究室や実験室で使われるプラズマ装置と異なり,  様々な厳しい要求を満たすように設計・製造されなければなりません。それゆえ, そのような量産現場で用いられるプラズマプロセス装置には極めて高い技術力が要求されます。今回のセミナーでプラズマプロセス装置について, 少しでも興味を持っていただければ幸いです。

15:20～15:35：質疑応答

15:35～15:45：休憩

15:45～16:30：KESCO主席研究員 トン リチュ講演（質疑応答含む）

■タイトル：
COMSOLプラズマモジュールの解析機能および活用技術
COMSOLプラズマモジュールの解析機能について詳しくご紹介します。COMSOLによる基本的なプラズマシミュレーション理論、マイクロプラズマにおけるマイクロ波のカットオフ現象と解法, CCPの境界値問題の解法と二周波数CCPの計算手法, アダプティブメッシング技術とECRプラズマ解析への応用, ボルツマン方程式との連成計算手法, および熱プラズマの熱源モデルなどについて, 低温非平衡プラズマから高温熱平衡プラズマまでの様々なプラズマシミュレーション技術および活用例を解説します。

16:30～17:15：座談会

竹内先生、池田様、KESCOトンの３名によるキャリアパス紹介＆質疑応答

【受講対象】

竹内先生 ■こんな方におすすめ：
最近シミュレーションを始めた, もしくは始める予定の初学者の方と, 実際にシミュレーションを行っており, 物理現象のモデル化手法などでお悩みの方。

池田先生 ■こんな方におすすめ：
プラズマプロセス開発またはプラズマプロセス装置開発に携わっている方だけでなく, プラズマに興味を持っている方にも聞いてて楽しいセミナーにしたいと思っています。また,  教養課程で基礎物理を学んでいる学生の方,  専門課程で熱力学・統計力学, 物性物理, 電波工学, 量子力学, 量子化学, 流体力学, 電気工学, 電子工学などを学んでいる学生の方にも興味を持っていただけるセミナーにしたいと思ってます。
わたしも学生の時はSi表面物性を研究して, 東京エレクトロンに入社してプラズマに触れていくようになりました。プラズマはオーロラなどの自然現象でも見られる物理現象であります。そのような自然現象を人工的に作り出し工業的に利用することで, 高度な半導体デバイス高集積化技術が実現しています。「プラズマ」という自然現象と「半導体デバイス製造」という革新技術が, どのように結びつくのか, その一端に触れていただきたく思います。

【講師ご紹介】

竹内希 先生   【現職】東京工業大学 工学院電気電子系 准教授 【ご経歴】 2009年3月東京工業大学大学院理工学研究科電気電子工学専攻博士課程修了 2009年10月以降，東京工業大学助教，講師を経て，現在は工学院電気電子系の准教授 この間，2017年4月～2019年3月は産業技術総合研究所環境管理研究部門の主任研究員
池田太郎 先生 【現職】 東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ株式会社　 要素技術開発第2部 Divisional Technology Officer 【ご経歴】 1994年 早稲田大学理工学部応用物理学科卒業 1996年 早稲田大学大学院理工学研究科物理学及び応用物理学専攻卒業  1996年 東京エレクトロン株式会社入社
トン リチュ 【現職】計測エンジニアリングシステム株式会社 主席研究員 【経歴】 1996年中国西安交通大学大学院工学研究科博士課程修了 フランス電力会社 (Électricité de France, EDF) 研究開発センターと ドイツ・ダルムシュタット工科大学博士研究員，東北大学助手などを経て 現在，計測エンジニアリングシステム (株) 主席研究員 プラズマ，電気化学，熱流体および電磁界などの数値解析ならびに COMSOL Multiphysicsへの技術サポートに従事

【Information】