Videoヘルプセンター
COMSOLを用いた低エネルギーイオンビームの引き出しシミュレーション
公開日：2021年8月23日
概要
COMSOL Conference Tokyo 2020
日新イオン機器株式会社 早川太郎 様
イオンビームの引き出しシミュレーションとは、イオン内のプラズマ領域とイオンビーム領域の境界を計算し、プラズマから出たイオンの軌道を計算するシミュレーションである。これまでは専用のツールが使われていたが、今回はこのシミュレーターをCOMSOL上に構築したので、その概要を報告する。このシミュレーターでは、低エネルギーのイオンビームで影響が大きい、イオンの空間電荷が電子によって中和される効果も考慮するように作成しており、その概要も述べる。
