CASES AND MATERIALS 事例/資料
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一般
ICPプラズマ解析用のサロゲートモデル
プラズマを用いた薄膜作成・ドライエッチング技術は、減圧下で薄膜を作成・加工するために必要不可欠な技術として幅広く利用されている。基板の大型化と加工寸法の微細化に伴い、装置開発に伴う開発コスト及び開発期間の増大は非常に大きな課題となっている……
公開日：2024年6月4日
一般
低電力DCアークジェットの解析
低電力DCアークジェット推進機の開発は近年、アメリカ、ドイツ、国内などで活発に行われ、アメリカではすでに実用化されている(1)。このような応用にDCアークジェットを適用する場合、耐久性が重要な問題となる。DCアークジェットの耐久性に影響を……
公開日：2024年5月20日
一般
Ar・CH4混合ガスを用いたICPプラズマの3Dモデル
半導体製造プロセスにおけるエッチング装置の多くは容量性結合型プラズマ (Capacitively Coupled Plasma; CCP) と誘導性結合型プラズマ (Inductivity Coupled Plasma ;ICP) に区分……
公開日：2024年5月20日
一般
パターンめっきの解析
〜上村⼯業株式会社 (C. Uyemura & Co., Ltd.) ⽣本雷平様ご提供〜
半導体の微細化技術の進展によって、チップの高集積化、高速化、低消費電力化が年々進んでおり、電子機器の小型化・高機能化や高性能化を牽引す……
公開日：2024年5月20日
セミナー資料
量子コンピュータ開発におけるCOMSOLの利用と低消費電力化【セミナーアーカイブ】
こちらの資料は、「量子コンピュータ開発におけるCOMSOLの利用と低消費電力化」（2024年5月開催）の講演・資料をアーカイブ化したものです。※弊社技術部の資料のみ公開となります。
セミナー概要
1. 東京大学 野口 ……
公開日：2024年5月15日
一般
COMSOL News 2023（日本語版）
COMSOL News 2023では、世界中のエンジニア、科学者、研究者がマルチフィジックスモデリングとシミュレーションを駆使して、システム全体を構成する個々の分野を理解し、最適化している様子をご紹介します。たとえば水素燃料電池のマイクロ……
公開日：2024年5月7日
カンファレンス
Let’s Javaスクリプティング ー微細混入物モデリングー【Conference2021発表資料】
こちらの資料は、COMSOL Simulations WEEK（2021年12月開催）の発表資料をアーカイブ化したものです。
概要
形状モデリングは手作業では膨大な工数が必要となることがあります。このよ……
公開日：2025年2月10日
カンファレンス
予測解析と不確かさの定量化ツールSmartUQと連携したマイクロスケールの多孔質リアクタシミュレーション 【Conference2021発表資料】
こちらの資料は、COMSOL Simulations WEEK（2021年12月開催）の発表資料をアーカイブ化したものです。
概要
本発表では、マイクロスケールの多孔質リアクタのCOMSOL®シミュレー……
公開日：2025年2月10日
カンファレンス
CAEアプリが解決する業務課題【Conference2021発表資料】
こちらの資料は、COMSOL Simulations WEEK（2021年12月開催）の発表資料をアーカイブ化したものです。
概要
コンピューターなどのハードウェアの性能向上や設計・研究におけるソフトウ……
公開日：2025年2月10日
カンファレンス
配管系におけるCOMSOL Multiphysics®による熱応力シミュレーションの有用性の検討【Conference2021発表資料】
こちらの資料は、COMSOL Simulations WEEK（2021年12月開催）の発表資料をアーカイブ化したものです。
概要
流体と伝熱の影響を受ける配管に生じる熱応力シミュレーションを行うことで……
公開日：2025年2月10日