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- 極性反転積層圧電材料の非線形誘電率の深さプロファイル計測
概要
現在、圧電体の高性能化のために層状に分極反転させた構造の開発が進められている。走査型非線形誘電率顕微法(Scanning Nonlinear Dielectric Microscopy: SNDM)は試料の非線形誘電率を測定し圧電体や強誘電体の極性を判定することが可能である。本研究では、SNDMの測定深さを制御することで、積層構造の極性反転の深さプロファイルを、試料表面から非破壊で測定することを試みる。計測用の電極の位置を変えることで、試料の内の電界分布を連続的に変化させる手法を提案し、シミュレーションを行った結果について述べる。
発表者
小田川 裕之
熊本高等専門学校 情報通信エレクトロニクス工学科 教授/工学博士
共同著者
井星 毅大 様（熊本高等専門学校）
キーワード
圧電体、走査型非線形誘電率顕微法、分極反転,積層構造、分極測定
資料公開
不可