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- シミュレーションアプローチによるスペックル干渉計を用いた回折限界を超える微小構造物の形状計測法の開発
概要
スペックル干渉法を用いて、微細構造物表面からの散乱光の空間的な位相分布を検出することで、回折限界を超えた微細構造を観察する新たな手法が実験結果に基づいて報告されている。本研究では、この技術の測定原理の検証をCOMSOL Multiphysics®を用いてコンピュータシミュレーションしている。はじめにCOMSOLを回折限界を超える演算に適用するにあたっての条件を検討し、光学系の二次元モデルをCOMSOLのプラットフォーム上に作製している。シミュレーションを通した理論解析においても新たな観測技術の正当性を実証している。
発表者
宮原 理紗
関西大学 計測システム研究室 学生
共同著者
新井 泰彦 様（関西大学）
キーワード
超解像、スペックル干渉計測、位相検出、シミュレーション
資料公開
不可