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弾性表面波(SAW)ガスセンサー
公開日：2022年5月16日
概要
弾性表面波（SAW）は、固体材料の表面に沿って伝播する音響波です。その振幅は、物質の深さ方向に急激に減衰し、多くの場合、指数関数的に変化します。
このモデルでは、COMSOL Multiphysics®の音響モジュール、MEMSモジュール、もしくは構造力学モジュールを使用し、SAWガスセンサの共振周波数を調査しています。センサーは、圧電基板上にエッチングされたインターディジット型トランスデューサを薄膜で覆ったものです。薄膜の材質が空気中の化学物質を選択的に吸着することにより、薄膜の質量が増加します。これにより、共振周波数がわずかに低くなり、空気中の化学物質の量に関する情報を得ることができます。
＊本解説は、COMSOL社のサイトから提供されているアプリケーションギャラリの例題モデルをポイント解説したものです。実際のモデルファイルやモデルの説明書はCOMSOL社のサイトからダウンロードしてください。
関連モデルファイル：https://www.comsol.jp/model/surface-acoustic-wave-gas-sensor-2129
関連ワード
表面弾性波、SAW、ガスセンサ、圧電、共振、MEMS
